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 Microstructure evolution and mechanical properties of Al doped ta-C films prepared by filtered cathodic vacuum arc 相关领域
材料科学
真空电弧
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期刊：Vacuum 作者：Ji Cheng Ding; Hui Cai; Ze Zhang; Haijuan Mei; Jun Zheng; et al 出版日期：2023-07-16 |
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