KNN lead-free technology on 200 mm Si wafer for piezoelectric actuator applications - 科研通

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标题	KNN lead-free technology on 200 mm Si wafer for piezoelectric actuator applications 相关领域薄脆饼微电子机械系统执行机构材料科学压电电容器悬臂梁光电子学电介质铁电性硅电子工程电气工程电压复合材料工程类
网址	https://doi.org/10.1016/j.sna.2024.115370
DOI	10.1016/j.sna.2024.115370 doi
其它	期刊：Sensors and Actuators A Physical 作者：Hugo Kuentz; C. Dieppedale; L. Mollard; Romain Liechti; Alain Campo; et al 出版日期：2024-04-09
求助人	wwl 在 2026-01-09 14:42:19 发布自吉林，悬赏 10 积分
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