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  Crystallinity and composition of Sc1−x(−y)Si x (P y ) silicides in annealed TiN/Sc/Si:P stacks for advanced contact applications 用于高级接触应用的退火TiN/Sc/Si：P堆叠中Sc1-x（-y）Six（py）硅化物的结晶度和组成
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期刊：Japanese Journal of Applied Physics 作者：Bert Pollefliet; Clément Porret; Jean‐Luc Everaert; Kiroubanand Sankaran; Xiaoyu Piao; et al 出版日期：2024-01-16 |
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