Mechanical response of atomic layer deposition alumina coatings on stiff and compliant substrates

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标题	Mechanical response of atomic layer deposition alumina coatings on stiff and compliant substrates 刚性和柔顺基底上原子层沉积氧化铝涂层的力学响应相关领域纳米压痕材料科学涂层原子层沉积复合材料弹性模量模数图层（电子）基质（水族馆）刚度硅沉积（地质）材料性能冶金古生物学地质学海洋学生物沉积物
网址	https://doi.org/10.1116/1.3670401 AI链接 ac.ukdoi.org
DOI	10.1116/1.3670401 doi
其它	期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films 作者：S.J. Bull 出版日期：2011-12-28
求助人	小孟在 2025-06-12 14:05:01 发布自辽宁，悬赏 10 积分
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