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 Overview Of Process Integration Issues For Low K Dielectrics 低K电介质的工艺集成问题概述
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期刊：MRS Proceedings 作者：Robert Havemann; Manoj Kumar Jain; R. S. List; A.R.K. Ralston; W-Y. Shih; et al 出版日期：1998-01-01 |
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