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 Highly sensitive lateral deformable optical MEMS displacement sensor: anomalous diffraction studied by rigorous coupled-wave analysis 相关领域
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材料科学
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物理
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光纤布拉格光栅
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期刊：Applied optics 作者：Chen Wang; Qianbo Lu; Jian Bai; Guoguang Yang; Kaiwei Wang; et al 出版日期：2015-10-14 |
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