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  Hetero-Epitaxial Growth of AlN Deposited by DC Magnetron Sputtering on Si(111) Using a AlN Buffer Layer 相关领域
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期刊：Coatings 作者：B. Riah; Julien Camus; A. Ayad; M. Rammal; Raouia Zernadji; et al 出版日期：2021-09-03 |
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