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标题
Effects of radio-frequency bias on silicon oxide films deposited by dual electron cyclotron resonance-radio frequency hybrid plasma
相关领域
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网址
https://doi.org/10.7498/aps.59.1338
DOI
10.7498/aps.59.1338 doi
其它 期刊：Acta Physica Sinica
作者：Bo Ke; Lei Wang; Ni Tian-Ling; Fang Ding; Mudi Chen; et al
出版日期：2010-01-01
求助人
RomanYoung 在 2025-10-29 12:08:27 发布自四川，悬赏 10 积分
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