Effects of radio-frequency bias on silicon oxide films deposited by dual electron cyclotron resonance-radio frequency hybrid plasma

已完结

文献求助详情

标题	Effects of radio-frequency bias on silicon oxide films deposited by dual electron cyclotron resonance-radio frequency hybrid plasma 相关领域材料科学电子回旋共振等离子体硅分析化学（期刊）直流偏压偏压氧化硅无线电频率原子物理学氧化物沉积（地质）光电子学物理化学电信氮化硅计算机科学古生物学色谱法量子力学电压沉积物冶金生物
网址	https://doi.org/10.7498/aps.59.1338
DOI	10.7498/aps.59.1338 doi
其它	期刊：Acta Physica Sinica 作者：Bo Ke; Lei Wang; Ni Tian-Ling; Fang Ding; Mudi Chen; et al 出版日期：2010-01-01
求助人	RomanYoung 在 2025-10-29 12:08:27 发布自四川，悬赏 10 积分
下载	该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。
	温馨提示：该文献已被科研通学术中心收录，前往查看科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。

上个求助

提交工单

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

老实憨厚无套路，服务科研追梦人

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

⚡ 2026年影响因子、分区 已更新！ (2026-6-17)

更新

📰 新增『新锐期刊分区』 (2026-3-24)

更新

💬 新增更精细的自定义提醒设置 (2026-1-4)

新增

🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻 (2026-1-2)

新增

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 功夫茶发布了新的文献求助10

5秒前; 星辰大海上传了应助文件

5秒前; rjy完成签到，获得积分10

9秒前; Vespa发布了新的文献求助10

11秒前; 危机的秋双完成签到，获得积分10

13秒前; 懦弱的棉花糖完成签到，获得积分10

13秒前; Pami发布了新的文献求助10

14秒前; 斯文败类的应助被Pami采纳，获得10

17秒前; 知行合一完成签到，获得积分10

17秒前; 科研通AI6.4上传了应助文件

24秒前; 招财进宝宝完成签到，获得积分10

25秒前; xhemers发布了新的文献求助10

25秒前; SJD完成签到，获得积分0

39秒前; xhemers完成签到，获得积分10

39秒前; 愤怒的易文上传了应助文件

41秒前; 斯文败类上传了应助文件

42秒前; 英俊的冰棍完成签到，获得积分10

45秒前; Pami发布了新的文献求助10

48秒前; Ali的应助被Pami采纳，获得10

49秒前; Li完成签到，获得积分10

50秒前; hj完成签到，获得积分10

53秒前; denggarnet完成签到，获得积分10

55秒前; 愤怒的易文上传了应助文件

57秒前; Vespa完成签到，获得积分10

1分钟前; 牧青上传了应助文件

1分钟前; 闪闪网络完成签到，获得积分10

1分钟前; YING发布了新的文献求助10

1分钟前; wood完成签到，获得积分10

1分钟前; JJYYY完成签到，获得积分10

1分钟前; Ali上传了应助文件

1分钟前; timesever完成签到，获得积分10

1分钟前; wang5945完成签到，获得积分10

1分钟前; 漂亮的元灵完成签到，获得积分10

1分钟前; ZXD1989完成签到，获得积分10

1分钟前; 科研小趴菜完成签到，获得积分10

1分钟前; RYYYYYYY233完成签到，获得积分10

1分钟前; 初景关闭了初景的文献求助

1分钟前; 丸子完成签到，获得积分10

1分钟前; 初景关闭了初景的文献求助

1分钟前; 初景关闭了初景的文献求助

1分钟前