Cobalt Silicide Formation Characteristics in a Single Wafer Rapid Thermal Furnace (SRTF) System

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标题	Cobalt Silicide Formation Characteristics in a Single Wafer Rapid Thermal Furnace (SRTF) System
网址	http://xplorestaging.ieee.org/ielx5/4200427/4223089/04223132...
DOI	10.1109/rtp.2006.368005 doi
其它	期刊：2006 14th IEEE International Conference on Advanced Thermal Processing of Semiconductors 作者：Igor J. Malik; Michel Ouaknine; Takeshi Ueda; Takashi Fukada; Woo Sik Yoo; et al 出版日期：2007-06-21
求助人	hg 在 2026-04-28 21:01:02 发布自广东，悬赏 10 积分
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