In-Situ TEM Chip with Dual-Temperature Zones for Real-Time CVD Process Observation - 科研通

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标题	In-Situ TEM Chip with Dual-Temperature Zones for Real-Time CVD Process Observation
网址	https://doi.org/10.1109/MEMS64181.2026.11419236
DOI	10.1109/MEMS64181.2026.11419236 doi
其它	期刊：2026 IEEE 39th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) 作者：Shaotong Hu; Muyu Yan; Ming Li; Ying Chen; Xiaoying Shen; et al 出版日期：2026
求助人	lll 在 2026-04-09 16:44:46 发布自上海，悬赏 10 积分
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