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标题
LithoSim: A Large, Holistic Lithography Simulation Benchmark for AI-Driven Semiconductor Manufacturing
网址
http://proceedings.spiedigitallibrary.org/proceeding.aspx?do...
DOI
10.1117/12.584441 doi
其它 期刊：SPIE Proceedings
作者：Chris A. Mack
出版日期：2005-03-01
求助人
稳重羽毛 在 2026-06-03 15:08:34 发布自上海，悬赏 20 积分
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  • 4个月前，求助关闭

    科研通管家 科研通管家 机器人 关闭了本次求助。

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  • 4个月前

    稳重羽毛 稳重羽毛 Lv1 求助人 驳回了 科研通AI6.2 上传的文件

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    不是这个

  • 4个月前

    科研通AI6.2 科研通AI6.2 机器人Lv12 上传了文件

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  • 4个月前

    稳重羽毛 稳重羽毛 Lv1 求助人 发起了本次求助

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