发布文献求助
待确认
  • 文献求助详情
标题
A review: green chemical mechanical polishing for metals and brittle wafers
金属和脆性晶圆的绿色化学机械抛光综述
相关领域
泥浆 环境友好型 脆性 化学机械平面化 薄脆饼 抛光 冶金 材料科学 危险废物 复合材料 纳米技术 废物管理 工程类 生态学 生物
网址
https://doi.org/10.1088/1361-6463/ac0c4a
DOI
10.1088/1361-6463/ac0c4a doi
其它 期刊：Journal of Physics D
作者：Lu Liu; Zhenyu Zhang; Bin Wu; Wei Hu; Fanning Meng; et al
出版日期：2021-06-17
求助人
shepherd 在 2025-08-09 10:47:59 发布自湖北，悬赏 10 积分
下载
 
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
上个求助
下个求助
提交工单
相关文献
  1. Effects of pump-induced particle agglomeration during chemical mechanical planarization (CMP)
  2. Study on the effect of residual ceria slurry on chemical mechanical planarization (CMP)
  3. Macromodel for changes in polishing pad surface condition caused by dressing and polishing
  4. Optimization of Chemical Mechanical Planarization Process of High Enrichment Slurry Under Low Pressu...
  5. Wide feature dielectric planarization using MnO/sub 2/ slurry
  6. Study the chemical mechanical polishing on sapphire substrate
  7. 혼합 연마제 슬러리를 이용한 Oxide CMP 특성에 관한 연구
  8. pH level 및 slurry 입도가 langasite wafer의 chemical mechanical planarization에 미치는 영향
  9. Aging Effects of Silica Slurry and Oxide CMP Characteristics
  10. Dielectric Planarization using Mn2O3 Slurry
　...点击展开更多...　
求助 / 应助时间线

  • 请等待求助人确认

    已经有人上传了文献，该状态下其他人无法上传，请等待求助人确认该文件是否是他需要的。
    如果求助人在 48 小时内还未确认，系统默认应助成功，本求助将自动关闭。

  • 3小时前

    香蕉觅云 香蕉觅云 Lv11 上传了文件

    待审核 Liu_2021_J._Phys._D__Appl._Phys._54_373001.pdf (2.18 MB)
    温馨提示：本文件中的下载单位、IP等隐私信息已被删除。如有遗漏，请 提交工单 反馈。

  • 3小时前

    科研通AI2.0 科研通AI2.0 机器人 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

    10:48:02 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载
    10:48:00 科研通AI机器人（美国 洛杉矶）收到请求，开始寻找文献
    10:47:59 已向机器人发送请求

  • 3小时前

    shepherd shepherd Lv41 求助人 发起了本次求助

更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
JiaoJiao完成签到，获得积分20
刚刚
田様的应助被跳跃碧灵采纳，获得30
1秒前
愉快彩虹完成签到，获得积分10
3秒前
汉堡包的应助被方秋采纳，获得20
7秒前
zywoo完成签到，获得积分10
7秒前
8秒前
小路发布了新的文献求助10
10秒前
orixero的应助被欣喜的友易采纳，获得10
12秒前
sandra发布了新的文献求助10
13秒前
13秒前
彭于晏的应助被wcvuc采纳，获得10
13秒前
哈哈哈哈哈完成签到，获得积分10
14秒前
lsl完成签到，获得积分10
15秒前
zwq发布了新的文献求助150
16秒前
林天发布了新的文献求助10
17秒前
xf完成签到，获得积分10
18秒前
靖123456发布了新的文献求助10
19秒前
怦怦的应助被科研通管家采纳，获得10
19秒前
在水一方的应助被科研通管家采纳，获得30
19秒前
我是老大的应助被科研通管家采纳，获得10
20秒前
852的应助被科研通管家采纳，获得10
20秒前
思源的应助被科研通管家采纳，获得10
20秒前
华仔的应助被科研通管家采纳，获得10
20秒前
pcr163的应助被科研通管家采纳，获得50
20秒前
科研通AI5的应助被科研通管家采纳，获得30
20秒前
丘比特的应助被科研通管家采纳，获得10
20秒前
20秒前
20秒前
20秒前
爆米花的应助被科研通管家采纳，获得10
20秒前
善学以致用的应助被kranran采纳，获得10
21秒前
思源的应助被珊珊采纳，获得10
24秒前
24秒前
大小罐子完成签到，获得积分10
24秒前
luaxin发布了新的文献求助10
24秒前
源孤律醒完成签到 ，获得积分10
26秒前
Eleven发布了新的文献求助50
26秒前
开朗灵寒完成签到，获得积分20
27秒前
上官若男的应助被楠易采纳，获得10
27秒前
3dyf完成签到，获得积分20
29秒前
高分求助中
(禁止应助)【重要！！请各位详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000
Semantics for Latin: An Introduction 1099
Robot-supported joining of reinforcement textiles with one-sided sewing heads 800
水稻光合CO2浓缩机制的创建及其作用研究 500
Logical form: From GB to Minimalism 500
2025-2030年中国消毒剂行业市场分析及发展前景预测报告 500
The Netter Collection of Medical Illustrations: Digestive System, Volume 9, Part III – Liver, Biliary Tract, and Pancreas, 3rd Edition 400
热门求助领域 （近24小时）
化学 材料科学 医学 生物 工程类 有机化学 生物化学 物理 内科学 纳米技术 计算机科学 化学工程 复合材料 遗传学 基因 物理化学 催化作用 冶金 细胞生物学 免疫学
热门帖子
关注 科研通微信公众号，转发送积分 4169781
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 3705131
关于积分的说明 11692338
捐赠科研通 3391820
什么是DOI，文献DOI怎么找？ 1860147
邀请新用户注册赠送积分活动 920263
科研通“疑难数据库（出版商）”最低求助积分说明 832639
Copyright © 2020-2025 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved
科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力
本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播
版权声明 关于本站 捐赠本站 提交工单 客服中心
皖ICP备2024041134号-1 皖公网安备34019202002308
科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：941272744【点击一键加群】
科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入
关注微信服务号
科研通