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 Effect of pulse parameter change on a-SiCN diaphragms for environmental cells fabricated by magnetic-field- and pulsed-plasma-enhanced chemical vapor deposition 脉冲参数变化对磁场和脉冲等离子体增强化学气相沉积环境电池a-SiCN隔膜的影响
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期刊：Vacuum 作者：Masanori Murano; Takaomi Matsutani; Tadahiro Kawasaki 出版日期：2018-09-07 |
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