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 Composition and properties of unhydrogenated amorphous silicon produced by sputtering in argon or neon gas 氩气或氖气溅射非氢化非晶硅的组成和性能
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期刊：Vacuum 作者：Y. Zaka; S. A. Abo-Namous; D. Crumpton; R. W. Fane 出版日期：1984-10-01 |
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(2025-6-4)
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