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Composition and properties of unhydrogenated amorphous silicon produced by sputtering in argon or neon gas
氩气或氖气溅射非氢化非晶硅的组成和性能
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网址
https://doi.org/10.1016/0042-207x(84)90181-7
DOI
10.1016/0042-207x(84)90181-7 doi
其它 期刊：Vacuum
作者：Y. Zaka; S. A. Abo-Namous; D. Crumpton; R. W. Fane
出版日期：1984-10-01
求助人
自然代萱 在 2025-08-28 18:13:58 发布自辽宁，悬赏 10 积分
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