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标题
Study on the microstructure and properties of (Ti, Al)N film deposited by pulsed high energy density plasma
脉冲高能密度等离子体沉积（Ti，Al）N薄膜的组织与性能研究
相关领域
材料科学 微观结构 纳米压痕 腐蚀 X射线光电子能谱 等离子体 基质（水族馆） 极化（电化学） 冶金 薄膜 复合材料 化学工程 纳米技术 海洋学 物理 地质学 工程类 物理化学 量子力学 化学
网址
https://doi.org/10.7498/aps.54.1301
DOI
10.7498/aps.54.1301 doi
其它 期刊：Acta Physica Sinica
作者：Liu Yuan-Fu; Han Jian-min; Guling Zhang; Jiuli Wang; Guangliang Chen; et al
出版日期：2005-01-01
求助人
rui 在 2025-09-23 06:56:59 发布，悬赏 10 积分
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