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标题
A Compact, Fast, and Efficient Plasma Cleaner
紧凑、快速、高效的等离子清洗机
相关领域
等离子清洗 等离子体 X射线光电子能谱 材料科学 感应耦合等离子体 光电子学 环境科学 化学工程 量子力学 物理 工程类
网址
DOI
10.1109/tps.2021.3119128 doi
其它 期刊:IEEE Transactions on Plasma Science
作者:M. M. Devadevan; J Krishnanand; K. B. Shilpa; R. N. Kini
出版日期:2021-10-20
求助人
GuanYZ 在 2025-10-27 06:17:37 发布自甘肃,悬赏 10 积分
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