Research and analysis of heat exchange processes of a micromechanical mirror based on a thermal microactuator

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标题	Research and analysis of heat exchange processes of a micromechanical mirror based on a thermal microactuator 相关领域微执行器热的材料科学薄脆饼硅横截面有限元法铝机械工程机械光学光电子学复合材料结构工程工程类热力学电气工程物理执行机构
网址	https://doi.org/10.1117/12.2520519
DOI	10.1117/12.2520519 doi
其它	期刊：作者：Sergey S. Evstafyev; Viacheslav K. Samoylikov 出版日期：2019-03-15
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