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Atomic-Layer-Deposition-Assisted Interfacial Engineering of Metal-Oxide-Metal Devices via Multilayer Structures to Improve Leakage Characteristics 通过多层结构改善金属-氧化物-金属器件的原子层沉积辅助界面工程
相关领域
原子层沉积
泄漏(经济)
材料科学
金属
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图层(电子)
沉积(地质)
化学工程
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地质学
沉积物
宏观经济学
古生物学
经济
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期刊:ACS Omega 作者:Zhao-Cheng Chen; Hao‐Jung Liu; Yu‐Chi Chang; Shoou-Jinn Chang 出版日期:2025-04-24 |
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(2025-6-4)