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标题
Preparation of SiC powders by CVD method using RF-plasma
射频等离子体CVD法制备SiC粉体
相关领域
材料科学 过饱和度 碳化硅 微晶 等离子体 化学工程 衍射 分析化学（期刊） 粒径 复合材料 冶金 色谱法 化学 有机化学 光学 工程类 量子力学 物理
网址
https://doi.org/10.1016/0267-3762(87)90071-3
DOI
10.1016/0267-3762(87)90071-3 doi
其它 期刊：International Journal of High Technology Ceramics
作者：Akira Mitsui; Akio Kato
出版日期：1987-01-01
求助人
Roy 在 2025-12-01 23:27:21 发布自福建，悬赏 10 积分
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