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Pressure dependent structural and optical properties of silicon carbide thin films deposited by hot wire chemical vapor deposition from pure silane and methane gases 纯硅烷和甲烷气体热丝化学气相沉积碳化硅薄膜的压力相关结构和光学性质
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期刊:Journal of Materials Science Materials in Electronics 作者:Fatemeh Shariatmadar Tehrani; Boon Tong Goh; Muhamad Rasat Muhamad; Saadah Abdul Rahman 出版日期:2012-10-17 |
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