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 Molecular dynamics study of silicon nitride thin film growth on nanoscale structures by plasma enhanced chemical vapor deposition 相关领域
材料科学
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期刊：Vacuum 作者：Jie Yu; Hua Shao; Junjie Li; Zemeng Feng; Longrui Xia; et al 出版日期：2025-12-19 |
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(2025-6-4)
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