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Molecular dynamics study of silicon nitride thin film growth on nanoscale structures by plasma enhanced chemical vapor deposition
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作者
Jie Yu,
Hua Shao,
Junjie Li,
Zemeng Feng,
Longrui Xia,
Rui Ge,
Guobin Bai,
Xiaobin He,
Dianming Sun,
Zhiqiang Li,
Rui Chen,
Yayi Wei
出处
期刊：
Vacuum
[Elsevier BV]
日期：2025-12-19
卷期号：246: 115030-115030
被引量：1
标识
DOI：10.1016/j.vacuum.2025.115030
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