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 Measurement and analysis of radio frequency glow discharge electrical impedance and network power loss 射频辉光放电电阻抗与网络功率损耗的测量与分析
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期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films 作者：Jeffery W. Butterbaugh; L. D. Baston; Herbert H. Sawin 出版日期：1990-03-01 |
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