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Thermal properties of Ga2O3 thin films and devices prepared on sapphire and SiC substrates by liquid-injection MOCVD 液注MOCVD法在蓝宝石和SiC衬底上制备Ga2O3薄膜及器件的热性能
相关领域
材料科学
金属有机气相外延
光电子学
化学气相沉积
蓝宝石
制作
宽禁带半导体
镓
带隙
氮化镓
薄膜
纳米技术
外延
图层(电子)
光学
冶金
物理
病理
医学
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激光器
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期刊: 作者:Filip Gucmann; M. Ťapajna; K. Hušeková; Edmund Dobročka; A. Rosová; et al 出版日期:2024-03-15 |
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