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 Environmentally Friendly Slurry of Using Ceo2/Mos2 Mixed Abrasives in Quartz Glass Chemical Mechanical Polishing 在石英玻璃化学机械抛光中使用Ceo2/Mos2混合磨料的环保型浆料
相关领域
环境友好型
泥浆
抛光
石英
材料科学
化学机械平面化
冶金
化学工程
复合材料
工程类
生态学
生物
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| 其它 |
期刊： 作者：Gong Lv; Shengsheng Liu; Yuxi Cao; Yufei Zhang; Tong Liu; et al 出版日期：2024-01-01 |
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