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 The effect of energy of Ar recoil particles on the interfaces and micro-structure in Ni/Ti multilayer fabricated by direct current magnetron sputtering technique Ar反冲粒子能量对直流磁控溅射Ni/Ti多层膜界面和微观结构的影响
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期刊：Vacuum 作者：Zhengran Guo; Zhang Zhong; Qiushi Huang; Runze Qi; Chenwei Du; et al 出版日期：2024-03-30 |
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xiuou
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