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标题
Growth and electrical properties of silicon oxide grown by atomic layer deposition using Bis(ethyl-methyl-amino)silane and ozone
网址
http://dx.doi.org/10.1116/1.3664122
DOI
10.1116/1.3664122 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films
作者：Seok-Jun Won; Hyung-Suk Jung; Sungin Suh; Yu Jin Choi; Nae-In Lee; et al
出版日期：2011-12-01
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英吉利25 在 2026-08-21 15:49:29 发布自中国，悬赏 10 积分
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