A Bulk-Type High-Pressure MEMS Pressure Sensor With Dual-Cavity Induced Mechanical Amplification

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标题	A Bulk-Type High-Pressure MEMS Pressure Sensor With Dual-Cavity Induced Mechanical Amplification
网址	http://dx.doi.org/10.1109/jmems.2022.3179769
DOI	10.1109/jmems.2022.3179769 doi
其它	期刊：Journal of Microelectromechanical Systems 作者：Dequan Lin; Kevin Chau; Man Wong 出版日期：2022-08-01
求助人	53125 在 2026-07-22 15:21:32 发布自北京，悬赏 10 积分
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