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Repairing etched sidewall surface of InGaN/GaN micro-light emitting diode through neutral N/H radicals in high vacuums 相关领域
材料科学
电致发光
光电子学
蚀刻(微加工)
二极管
杂质
电流密度
量子效率
发光二极管
宽禁带半导体
镓
化学气相沉积
反应离子刻蚀
各向同性腐蚀
表面改性
费米能级
泄漏(经济)
沉积(地质)
原子层沉积
载流子寿命
反向漏电流
制作
纳米技术
图层(电子)
分析化学(期刊)
光致发光
砷化镓
干法蚀刻
氮化镓
X射线光电子能谱
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| 其它 |
期刊:Applied Physics Letters 作者:Kai Li; Zhi-Qiao Li; Mengjing Jiang; Guobin Wang; Yang Wang; et al 出版日期:2026-07-21 |
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