Latest ArF light source with speckle reduction technology for immersion lithography improving chip yield

求助中

文献求助详情

标题	Latest ArF light source with speckle reduction technology for immersion lithography improving chip yield
网址	https://doi.org/10.1117/12.2583281
DOI	10.1117/12.2583281 doi
其它	期刊：作者：Hirotaka Miyamoto; Takamitsu Komaki; Toshihiro Ohga; Taku Yamazaki; Tsukasa Hori; et al 出版日期：2021-02-19
求助人	没有梦的今天在 2026-08-05 11:27:11 发布自美国，悬赏 20 积分
下载	暂无链接，等待应助者上传

上个求助

下个求助

提交工单

求助 / 应助时间线

现在，等待您上传文献

对不起，您需要登录才可以上传文件。
进入登录页面
4天前

科研通AI2.0 机器人未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

11:27:15 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

11:27:12 科研通AI机器人（中国香港）收到请求，开始寻找文献

11:27:11 已向机器人发送请求
4天前

没有梦的今天 Lv1 求助人发起了本次求助

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

⚡ 2026年影响因子、分区 已更新！ (2026-6-17)

更新

📰 新增『新锐期刊分区』 (2026-3-24)

更新

💬 新增更精细的自定义提醒设置 (2026-1-4)

新增

🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻 (2026-1-2)

新增

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 三寿完成签到，获得积分10

1秒前; 啦啦啦完成签到，获得积分10

2秒前; 在水一方的应助被79采纳，获得10

2秒前; 自由的盼柳完成签到，获得积分10

2秒前; 热情的白风完成签到，获得积分10

2秒前; LYL完成签到，获得积分10

2秒前; SciGPT上传了应助文件

3秒前; cheng完成签到，获得积分10

4秒前; yyyyyyy完成签到，获得积分10

4秒前; 科研人完成签到，获得积分10

5秒前; 852上传了应助文件

5秒前; yexing完成签到，获得积分10

5秒前; 飞快的蛋完成签到，获得积分0

5秒前; 科研通AI6.3上传了应助文件

6秒前; tsai完成签到，获得积分10

6秒前; 仁爱的觅夏完成签到，获得积分10

7秒前; 研友_西门孤晴完成签到，获得积分10

8秒前; 摩诃完成签到，获得积分10

8秒前; Zurlliant完成签到，获得积分10

9秒前; dde发布了新的文献求助10

10秒前; sagitar上传了应助文件

10秒前; 科目三上传了应助文件

10秒前; 苹果亦巧发布了新的文献求助10

10秒前; 宁宁完成签到，获得积分10

10秒前; 酷酷水之完成签到，获得积分10

10秒前; Zi_1234完成签到，获得积分10

11秒前; 小二郎的应助被冷傲凝琴采纳，获得10

11秒前; caozhi完成签到，获得积分10

11秒前; ZYX发布了新的文献求助10

12秒前; 华东小可爱完成签到，获得积分10

12秒前; 科研通AI6.3的应助被liuqx011采纳，获得10

12秒前; 流涟新完成签到，获得积分10

13秒前; 科目三的应助被悦悦采纳，获得10

13秒前; 在水一方上传了应助文件

15秒前; 江森完成签到，获得积分10

15秒前; 田様上传了应助文件

16秒前; 老迟到的访文完成签到，获得积分10

16秒前; 李1的应助被iuhgnor采纳，获得10

16秒前; Lucas上传了应助文件

16秒前; 小次之山完成签到，获得积分10

17秒前