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 A study on dry etching for profile and selectivity of ZrO2 thin films over Si by using high density plasma 高密度等离子体干腐蚀Si上SrO2薄膜的轮廓和选择性研究
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期刊：Thin Solid Films 作者：Jong‐Chang Woo; Sang‐Gi Kim; Jin-Gun Koo; Gwan-Ha Kim; Dong‐Pyo Kim; et al 出版日期：2009-02-12 |
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