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 Application of KrCI excilamp for cleaning GaAs surfaces using atomic hydrogen KrCI excilamp在原子氢清洗GaAs表面中的应用
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期刊：Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE 作者：В. Ф. Тарасенко; V. A. Kagadei; М. И. Ломаев; Alexei N. Panchenko; Dmitrii I. Proskurovsky 出版日期：1998-06-03 |
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