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 Study of the topography of silicon surface evolution under irradiation by a gallium ion beam 镓离子束辐照下硅表面形貌演化的研究
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期刊：Vacuum 作者：M. A. Smirnova; В. И. Бачурин; M.E. Lebedev; L. A. Mazaletsky; Д. Э. Пухов; et al 出版日期：2022-06-10 |
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