Metrology of thin resist for high NA EUVL - 科研通

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标题	Metrology of thin resist for high NA EUVL 用于高NA EUVL的薄抗蚀剂的计量相关领域抵抗极紫外光刻材料科学平版印刷术光学计量学数值孔径极端紫外线焦点深度（构造）薄脆饼扫描电子显微镜光刻纳米技术光电子学物理复合材料地质学构造学波长古生物学激光器俯冲图层（电子）
网址	https://doi.org/10.1117/12.2614046
DOI	10.1117/12.2614046 doi
其它	期刊：Metrology, Inspection, and Process Control XXXVI 作者：Gian F. Lorusso; Christophe Béral; Janusz Bogdanowicz; Danilo De Simone; Mahmudul Hasan; et al 出版日期：2022-05-26
求助人	koman 在 2025-09-24 00:34:59 发布自江苏，悬赏 20 积分
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