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 Deep plasma etching of piezoelectric PZT with SF6 SF6深等离子体刻蚀压电陶瓷
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光刻胶
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压电
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硅
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期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B Microelectronics and Nanometer Structures Processing Measurement and Phenomena 作者：Michael R. Bale; Richard E. Palmer 出版日期：2001-11-01 |
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