Exploration on functional groups of complexing agents during chemical mechanical polishing for Co interconnects

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标题	Exploration on functional groups of complexing agents during chemical mechanical polishing for Co interconnects Co互连化学机械抛光过程中络合剂官能团的探索相关领域材料科学抛光固体力学复合材料化学工程纳米技术冶金工程类
网址	https://doi.org/10.1007/s10853-025-10661-8
DOI	10.1007/s10853-025-10661-8 doi
其它	期刊：Journal of Materials Science 作者：Lifei Zhang; Lifei Zhang 出版日期：2025-05-01
求助人	浪漫反派在 2025-12-12 06:08:59 发布自上海，悬赏 10 积分
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