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 Diffusion of Bi, Er and Eu implanted into S1813 photoresist Bi、Er和Eu注入S1813光刻胶中的扩散
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期刊：Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B Beam Interactions with Materials and Atoms 作者：M.R.F. Soares; L. Amaral; M. Behar; F. Fink 出版日期：2003-07-31 |
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