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标题
Wafer-level metal thin film thickness scanning based on multiple probe wavelengths nanosecond transient thermoreflectance
基于多探针波长纳秒瞬态热反射率的晶圆级金属薄膜厚度扫描
相关领域
薄脆饼 材料科学 纳秒 瞬态（计算机编程） 光电子学 波长 薄膜 光学 金属 纳米技术 激光器 计算机科学 物理 冶金 操作系统
网址
https://doi.org/10.1016/j.measurement.2024.116247
DOI
10.1016/j.measurement.2024.116247 doi
其它 期刊：Measurement
作者：Guoliang Ma; Biwei Meng; Shaojie Zhou; Yali Mao; Yunliang Ma; et al
出版日期：2024-11-15
求助人
polyethylene 在 2025-12-30 12:05:20 发布自上海，悬赏 10 积分
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