Wafer-level metal thin film thickness scanning based on multiple probe wavelengths nanosecond transient thermoreflectance

薄脆饼 材料科学 纳秒 瞬态(计算机编程) 光电子学 波长 薄膜 光学 金属 纳米技术 激光器 计算机科学 物理 冶金 操作系统
作者
Guoliang Ma,Biwei Meng,Shaojie Zhou,Yali Mao,Yunliang Ma,Xinglin Xiao,Chao Yuan
出处
期刊:Measurement [Elsevier]
卷期号:242: 116247-116247 被引量:2
标识
DOI:10.1016/j.measurement.2024.116247

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