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 Study on the mechanism of buffer absorbing energy of double-layer heterostructure based on viscoelastic materials for MEMS devices 相关领域
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期刊：Sensors and Actuators A Physical 作者：Denghu Feng; Yunbo Shi; Rui Zhao; Yunan Chen; Peng Zhang; et al 出版日期：2023-11-02 |
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