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标题
Different modes of electron heating in dual-frequency capacitively coupled radio frequency discharges
相关领域
原子物理学 电离 激发 电子 化学 联轴节（管道） 离子 背景（考古学） 电子电离 电子密度 物理 材料科学 古生物学 生物 量子力学 有机化学 冶金
网址
https://doi.org/10.1088/0963-0252/18/3/034011
DOI
10.1088/0963-0252/18/3/034011 doi
其它 期刊：Plasma Sources Science and Technology
作者：Julian Schulze; Zoltán Donkó; D Luggenhölscher; Uwe Czarnetzki
出版日期：2009-07-15
求助人
UNIQ85 在 2026-01-26 16:00:05 发布自甘肃，悬赏 10 积分
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