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 Direct bonding of LiNbO3 and GaAs at room temperature by using activated Si atom layer 利用活化Si原子层在室温下直接键合LiNbO3和GaAs
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期刊：Vacuum 作者：Rui Huang; Mingzhi Tang; Wanyu Kan; Hui Li; Qing Wang; et al 出版日期：2023-07-14 |
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