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Crack-Free AlN Film Grown on Sputtered-AlN/2D MoS2 Seed Layers on a Si(100)-Based Wafer: Implications for Radio-Frequency Acoustic Filters
在Si（100）基晶片上溅射AlN/2D MoS2籽晶层上生长的无裂纹AlN薄膜：对射频声学滤波器的影响
相关领域
材料科学 薄脆饼 光电子学 溅射 薄膜 纳米技术
网址
https://doi.org/10.1021/acsanm.4c02345
AI链接 cea.hal.sciencedoi.org
DOI
10.1021/acsanm.4c02345 doi
其它 期刊：ACS Applied Nano Materials
作者：Bérangère Hyot; A. Dussaigne; Julien Patouillard; R. Gassilloud; M. Bernard; et al
出版日期：2024-05-30
求助人
小宁同学 在 2025-12-03 19:19:44 发布自吉林，悬赏 10 积分
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  • 1小时前

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