Atomic Layer Deposition of Two-Dimensional Layered Materials: Processes, Growth Mechanisms, and Characteristics

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标题	Atomic Layer Deposition of Two-Dimensional Layered Materials: Processes, Growth Mechanisms, and Characteristics 二维层状材料的原子层沉积：过程、生长机制和特性相关领域原子层沉积可控性纳米技术原子单位材料科学石墨烯图层（电子）纳米尺度沉积（地质）计算机科学工程物理物理地质学数学沉积物量子力学古生物学应用数学
网址	https://doi.org/10.1016/j.matt.2019.12.026
DOI	10.1016/j.matt.2019.12.026 doi
其它	期刊：Matter 作者：Jiyu Cai; Xiaoxiao Han; Xin Wang; Xiangbo Meng 出版日期：2020-03-04
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