Effect of Process Parameters on Remote PEALD \for HighlyTransparent ZnO Film Growth

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标题	Effect of Process Parameters on Remote PEALD \for HighlyTransparent ZnO Film Growth
网址	https://www.jkps.or.kr/journal/DOIx.php?id=10.3938/jkps.55.9...
DOI	10.3938/jkps.55.999 doi
其它	期刊：Journal of the Korean Physical Society 作者：Sung-Ku Kwon; Dae-Woon Kim; Y. Jung; Bong J. Lee 出版日期：2009-09-15
求助人	sunrise 在 2026-11-05 11:11:05 发布自四川，悬赏 10 积分
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