Low temperature growth and optical properties of α-Ga2O3 deposited on sapphire by plasma enhanced atomic layer deposition

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标题	Low temperature growth and optical properties of α-Ga2O3 deposited on sapphire by plasma enhanced atomic layer deposition
网址	https://doi.org/10.1016/j.jcrysgro.2019.125254
DOI	10.1016/j.jcrysgro.2019.125254 doi
其它	期刊：Journal of Crystal Growth 作者：Joseph W. Roberts; Paul R. Chalker; Boning Ding; Rachel A. Oliver; James T. Gibbon; et al 出版日期：2019-09-25
求助人	zht 在 2026-10-21 11:09:41 发布自福建，悬赏 10 积分
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