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(Invited) Highly Selective and Isotropic Atomic Layer Etching Using Dry Chemical Removal 相关领域
材料科学
光电子学
薄脆饼
蚀刻(微加工)
晶体管
各向同性腐蚀
热的
进程窗口
干法蚀刻
反应离子刻蚀
图层(电子)
微型加热器
半导体
纳米技术
各向同性
热脱附
原子层沉积
钝化
德拉姆
化学气相沉积
闪光灯(摄影)
与非门
退火(玻璃)
薄膜
半导体器件
电子工程
薄膜晶体管
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期刊:ECS Meeting Abstracts 作者:Nobuya Miyoshi 出版日期:2025-11-24 |
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(2025-6-4)