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 Green Manufacturing of Silyl-Phosphate for Use in 3D NAND Flash Memory Fabrication 相关领域
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期刊：ACS Sustainable Chemistry & Engineering 作者：H. Lee; Hyun Su Kim; Elsa Tsegay Tikue; Su Kyung Kang; Haoxiang Zhang; et al 出版日期：2021-04-01 |
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