Progress on implementation of a CD-AFM-based reference measurement system

已完结

文献求助详情

标题	Progress on implementation of a CD-AFM-based reference measurement system
网址	https://www.spiedigitallibrary.org/redirect/proceedings/proc...
DOI	10.1117/12.653287 doi
其它	期刊：SPIE Advanced Lithography 作者：N. Orji; Angela Martinez; R. Dixson; J. Allgair 出版日期：2006-03-10
求助人	胖玻璃球在 2026-07-09 00:24:35 发布自河北，悬赏 20 积分
下载	求助已完成，仅限求助人下载。

Institute for Operations Research and the Management Sciences

上个求助

下个求助

提交工单

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

科研通，破除各种障碍，优化资源分配，让科研信息充分流通

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

⚡ 2026年影响因子、分区 已更新！ (2026-6-17)

更新

📰 新增『新锐期刊分区』 (2026-3-24)

更新

💬 新增更精细的自定义提醒设置 (2026-1-4)

新增

🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻 (2026-1-2)

新增

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: AA学术张总发布了新的文献求助10

7秒前; Feng的应助被执着的怜珊采纳，获得10

20秒前; Kao上传了应助文件

21秒前; Kao上传了应助文件

40秒前; AA学术张总完成签到，获得积分10

51秒前; Kao上传了应助文件

1分钟前; Marciu33完成签到，获得积分20

1分钟前; Kao上传了应助文件

1分钟前; Copyright上传了应助文件

1分钟前; Kao上传了应助文件

2分钟前; 英俊的铭的应助被Marciu33采纳，获得10

2分钟前; 爆米花的应助被闯进你的心采纳，获得10

2分钟前; 爆米花上传了应助文件

2分钟前; Kao上传了应助文件

3分钟前; 三声完成签到，获得积分10

3分钟前; 闯进你的心发布了新的文献求助10

3分钟前; 蛋卷完成签到，获得积分0

3分钟前; 沉默沛白完成签到，获得积分10

3分钟前; Kao上传了应助文件

3分钟前; 闯进你的心完成签到，获得积分20

3分钟前; Kao上传了应助文件

3分钟前; 科研通AI6.4上传了应助文件

3分钟前; Kao上传了应助文件

4分钟前; Kao上传了应助文件

4分钟前; Copyright上传了应助文件

4分钟前; 莉莉丝发布了新的文献求助10

4分钟前; 莉莉丝完成签到，获得积分10

5分钟前; Kao上传了应助文件

5分钟前; 科研通AI6.2的应助被Xiaobai采纳，获得10

5分钟前; 科研通AI6.4的应助被Xiaobai采纳，获得10

5分钟前; Kao上传了应助文件

5分钟前; jodie完成签到，获得积分10

5分钟前; xmsyq完成签到，获得积分10

5分钟前; Ava的应助被jodie采纳，获得10

5分钟前; Kao上传了应助文件

6分钟前; 我是老大的应助被山雨微凉采纳，获得10

6分钟前; Kao上传了应助文件

6分钟前; 科研通AI6.4上传了应助文件

6分钟前; Copyright上传了应助文件

6分钟前; 我是老大上传了应助文件

6分钟前