Uniform and Direction-Controllable Metal-Induced Lateral Crystallization for 3D NAND Flash Memory via $\text{NiSi}_{2}(111)$-Oriented Seed Layer Transfer

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标题	Uniform and Direction-Controllable Metal-Induced Lateral Crystallization for 3D NAND Flash Memory via $\text{NiSi}_{2}(111)$-Oriented Seed Layer Transfer
网址	http://dx.doi.org/10.1109/vlsitechnologyandcir65830.2026.115...
DOI	10.1109/vlsitechnologyandcir65830.2026.11577362 doi
其它	期刊：2026 IEEE/JSAP Symposium on VLSI Technology and Circuits (VLSI Technology and Circuits) 作者：Ohhyuk Kwon; Junyoung Lee; Jaemin Jung; Siyoung Yang; Kwangmin Park; et al 出版日期：2026-06-14
求助人	ADChem_JH 在 2026-09-11 19:51:54 发布自上海，悬赏 10 积分
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